Giải pháp cảm biến đo mô-men xoắn UTMIII từ Unipulse

Nhu cầu về chất bán dẫn, đặc biệt trong ngành ô tô và AI dự kiến sẽ tiếp tục tăng cao trên toàn cầu. Trong số này, cảm biến mô-men xoắn UTMIII – phiên bản mới nhất của dòng UTM – đã được nhiều nhà máy và trung tâm kiểm định chất bán dẫn trang bị. Trong quá trình xử lý và kiểm tra tấm wafer silicon, các bàn định vị XY sử dụng vít bi (ball screw) để đạt độ chính xác siêu cao ở cấp micron và tốc độ định vị nhanh. 

Tuy nhiên, trong các thiết bị như lắng đọng màng mỏng hay máy mài wafer, lớp bụi sắt hoặc chất thải tích tụ có thể làm tăng lực tác dụng lên cơ cấu truyền động và giảm độ chính xác của máy. 

Bằng cách theo dõi mô-men xoắn của động cơ truyền động với cảm biến UTMIII, thiết bị giúp khách hàng dự báo trước thời điểm cần bảo trì (khi thấy mô-men xoắn tăng dần), từ đó lên kế hoạch bảo dưỡng định kỳ và giảm thiểu thời gian dừng máy. 

Dòng UTMIII lý tưởng cho các ứng dụng yêu cầu đo mô-men xoắn rất chính xác. Dải đo nhỏ nhất của cảm biến chỉ từ 0,05 Nm, cho phép phát hiện và đánh giá những mô-men xoắn cực nhỏ.

Cảm biến này có khả năng đáp ứng tín hiệu ở băng thông đến 5 kHz, độ lặp lại và độ ổn định cao, nên có thể theo dõi nhanh chóng và chính xác những biến đổi nhỏ về mô-men. Hơn nữa, UTMIII chịu được tải trọng hướng tâm và tải trọng trục, ít bị ảnh hưởng khi quay ở tốc độ cao. Thiết kế nhỏ gọn của UTMIII cũng giúp việc tích hợp vào thiết bị cơ khí trở nên dễ dàng và linh hoạt. 

Ứng dụng thực tế

Ứng dụng trong sản xuất chất bán dẫn: Cảm biến UTMIII có thể được sử dụng trong các quy trình thực tế sau: 

• Phát hiện tắc nghẽn bánh mài: Giám sát mô-men xoắn khi mài wafer để phát hiện kịp thời hiện tượng tắc nghẽn bánh mài, từ đó xác định thời điểm cần “dress” (làm mới) đá mài. 
• Gia công thái (dicing) wafer: Kiểm soát mô-men xoắn trong quá trình thái wafer nhằm ngăn ngừa khuyết tật, giảm thiểu hư hỏng dao cắt và sứt mẻ phôi. 
• Lắp ráp thiết bị: Đo và quản lý mô-men siết vít trong các công đoạn lắp ráp để đảm bảo lực siết đồng đều, tránh các lỗi lắp ráp do siết quá lực hoặc thiếu lực. 

Các dòng cảm biến Unipulse khác cho nhà máy bán dẫn

Ngoài ra, Temas còn phân phối nhiều loại cảm biến Unipulse khác như cảm biến hành trình, cảm biến tải trọng và bộ đo mô-men xoắn chuyên dụng, có thể áp dụng trong các khâu gia công, kiểm tra và đóng gói chất bán dẫn.  

Chúng tôi luôn sẵn sàng cho mượn thiết bị demo để khách hàng trải nghiệm trước khi quyết định đầu tư, đồng thời hỗ trợ tư vấn kỹ thuật chuyên sâu cho từng ứng dụng cụ thể. Hãy liên hệ Temas để được tư vấn giải pháp cảm biến lực và mô-men xoắn phù hợp cho quy trình sản xuất chất bán dẫn của bạn. 

Là nhà phân phối chính hãng các sản phẩm Unipulse tại Việt Nam, Temas không chỉ cung cấp các dòng cảm biến đo lực và mô-men xoắn chất lượng cao, mà còn đồng hành cùng khách hàng trong việc tư vấn, lựa chọn và triển khai giải pháp phù hợp với từng ứng dụng thực tế. 

Với đội ngũ kỹ sư nhiều kinh nghiệm trong lĩnh vực tự động hóa và đo lường, Temas sẵn sàng hỗ trợ từ khâu đánh giá yêu cầu, test thử sản phẩm đến tối ưu hệ thống vận hành. 

Hãy liên hệ với Temas để được tư vấn chi tiết và trải nghiệm demo thực tế các giải pháp đo lực, đo mô-men xoắn từ Unipulse cho nhà máy của bạn.